该经典案例来源于华南沿海地区1家大一些的半导体设备手工制造中小的企业,具体工作一体化线路心片。在工作过程中中,晶圆洗涤、蚀刻等工艺程序需使用的丰富电子设备级磷酸(含量≥85%),对此行成高酸度含磷生活污水。中小的企业应有解决基础设施无非考虑愈发严谨的污染物标准规定(TP≤0.5mg/L),急需要在线升级提升。
生活污水部分及起源
生活污水大部分来原于这三个部门:晶圆清洁工作生活污水(占总出水量60%)、装备消毒器生活污水(30%)及及地面的消毒器生活污水(10%)。污水水质特性的表现为:pH值1.5-2.5,总磷浓度值800-1200mg/L,氟正离子含水量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含带微量分析天价属(铜、锌等)。
整理施工工艺流量
投资项目利用"预治理 +物理沉积+高脱色+深度.过虑"的团体生产工艺:
调节器池
:动态平衡土质供水量,可设pH线检测设计
二级表现池
:添加石粉乳转换pH至8.5-9.0,变成Ca3(PO4)2沉积
一级响应池
:加上PAC和PAM强化装备二沉池成效
斜板滤渣池
:实现了固液剥离,废水进去过滤程序
Fenton腐蚀象限
:H2O2与Fe²⁺联动做用光降解有机酸物
多物料过滤系统器
:熔融石英砂+可溶性炭组合式过滤水,确定出水量清辙
阴离子互转控制系统
:进一部取除稳定度材料阳离子
结果是作用
体统程序运动固定后,冒水水的硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟化合物≤5mg/L,多种要求更为重要《电商工艺技术水破坏物排放量细则细则》(GB 39731-2020)。每次减掉磷排放量细则约15吨,生活污水生产量较过去工艺技术缩减40%,程序运动人工成本掌握在8.3元/吨水。