杭州某半导体材料IC芯片造成厂,晶圆工作环节中存在含硅、氟的个性化污废水净化处理手段 ,设汁加工数量1200吨/日。污废水净化处理手段 部分较为复杂,有效纳米级级硅颗粒状及氢佛酸,传统的加工手段不易于达到。
电镀废水成分表及起源
核心严重工业废气
:电解质溶液硅(100-500nm粒级)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
來源步骤
:晶圆刻蚀废污水(45%)、CMP检查是否机械装备镜面抛光废污水(40%)、系统清洗道路水(15%)
治理 施工工艺步骤
全新选取"电化学沉定+特中膜分离处理"工艺的路线:
钙盐沉淀出的
:加药氯化钙祛除氟阳离子(转成CaF2发展)
斜管沉淀池作用
:塑料二沉池剂推动电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜公款私存微细颗粒物
反构建软件系统
:脱盐率>98%,回收并率75%
化掉析出
:浓水段实行氟化物污水处理技术量
终结功能
氟化物密度:<8mg/L(降到国三级规定10mg/L)
硅含碳量:<5mg/L
水影视资源循环率:70%使用在冷去塔补水保湿
危险废物减轻药量:蒸发器渣子量较传统的方法抑制60%